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精密恒溫恒濕機(jī)在基板曝光前，能有效維持其表面溫度的均一性。經(jīng)過(guò)此設(shè)備處理后的空氣，溫度控制精度可達(dá)目標(biāo)值±0.01℃，充分滿足制程環(huán)境對(duì)溫控的要求。

半導(dǎo)體恒溫系統(tǒng)主要由加熱循環(huán)系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、箱體等組成。加熱循環(huán)系統(tǒng)包括循環(huán)泵、電加熱器、膨脹容器、排氣閥、單向閥、熱電阻、循環(huán)管道等組成。冷卻系統(tǒng)包括油水換熱器、油油換熱器（部分設(shè)備）、冷卻水電磁閥、高溫電磁閥等組成。控制系統(tǒng)采用PID控制技術(shù)，高清顯示屏，設(shè)有多項(xiàng)保護(hù)功能，確保設(shè)備安全運(yùn)行。通過(guò)機(jī)組自身的加熱與冷卻，向外界輸送載熱流體，滿足工藝條件要求。